Aufgrund der hohen Messgenauigkeit von < 1 µm und der verhältnismäßig einfachen Handhabung werden Laserinterferometer für Kalibrieraufgaben eingesetzt. Distanzmesser werden auf Messbahnen mit Längen bis zu 30 m, auf denen ein Schlitten verfahren werden kann und dessen Position interferometrisch mit übergeordneter Genauigkeit bestimmt wird, für den Nahbereich kalibriert.